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可编程匀胶机及热板

可编程匀胶机(旋涂仪)和烤胶机(热板)是微电子、光电子、材料科学等领域(尤其在光刻工艺中)常用的两款核心设备,二者功能互补,共同完成光刻胶(或其他功能性涂层)的涂覆与固化流程。
  • HC150PE带自动点胶6英寸分体式可编程匀胶机


    名称:带自动点胶分体式编程匀胶机

    型号:HC150PE

    应用: HC150PE可编程匀胶机是在HC150SE的基础上,增加一路自动点胶系统,满足小批量实验制样的需求。被设计为涂胶处理基片尺寸为?5mm~150mm6英寸)或对应的方片,使用工业级直流马达和PLC控制,4.3英寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。


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  • HCH300P带顶针的程序控制烤胶机

    称:带顶针的程序控制烤胶机HCH300P

    号:HCH300P

    用:带顶针的程序控制烤胶机HCH300P是一种设计为精确控温、准确计时和接近式加热的高性能实验室设备,可实现智能化编程烤胶控制。

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  • HCH300温控表控温烤胶机

    称:HCH300温控表控温烤胶机

    号:HCH300

    用:安赛斯控温烤胶机/热板HCH300被设计为控温精度良好,较高的热均匀性,简单实用型烤胶机。

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  • Apogee 200 8英寸烤胶机

    产品名称:Apogee 200 烤胶机

    型号:Apogee 200 Bake Plate

    产地:美国

    应用:台式烤胶机,可处理最大 200 毫米的晶圆,以高效、节省空间的设计,提供可跟踪的质量稳定性、革命性的接口功能和最大的化学兼容性。

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  • Apogee 300 12英寸烤胶机

    产品名称:Apogee 300 12英寸烤胶机

    型号:Apogee 300 Bake Plate

    产地:美国

    应用:台式烤胶机,可处理最大 300 毫米的晶圆,以高效、节省空间的设计,提供可跟踪的质量稳定性、革命性的接口功能和最大的化学兼容性。

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  • Apogee 200 显影机

    产品名称:Apogee 200 显影机®

    型号:Apogee 200 spin-developer

    产地:美国

    应用:台式显影机,可处理最大 200 毫米的晶圆,以高效、节省空间的设计,提供可跟踪的质量稳定性、革命性的接口功能和最大的化学兼容性。

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  • Apogee 450 显影机

    产品名称:Apogee 450 显影机®

    型号:Apogee®450 Spin Developer

    产地:美国

    应用:台式显影机,可处理最大 450 毫米的晶圆的显影和清洗,以高效、节省空间的设计,提供可跟踪的质量稳定性、革命性的接口功能和最大的化学兼容性。

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  • 半工位工作站

    产品名称:X-Pro II 工作站

    型号:X-Pro II

    产地:美国

    应用:半尺寸工作站,最多可容纳两个 200 毫米模块和/或一个 300 毫米模块,以高效、节省空间的设计,提供可跟踪的质量稳定性、革命性的接口功能和最大的化学兼容性。


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  • 全尺寸工作站

    产品名称:X-Pro II 工作站

    型号:X-Pro II

    产地:美国

    应用:全尺寸工作站,最多可容纳四个 200 毫米模块和/或两个 300 毫米模块,以高效、节省空间的设计,提供可跟踪的质量稳定性、革命性的接口功能和最大的化学兼容性。

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