台式匀胶机,可处理最大 200 毫米(8英寸)的晶圆 浏览量:8
产品名称:Apogee 200 匀胶机
型号:Apogee 200
产地:美国
应用:台式匀胶机,可处理最大 200 毫米(8英寸)的晶圆,以高效、节省空间的设计,提供可跟踪的质量稳定性、革命性的接口功能和最大的化学兼容性。
您的高级选择
无缝集成
专为在您的工作空间中轻松设置而设计。无需复杂的安装即可获得专业级性能。
紧凑的设计
占地面积小,结果大
无需大型轨道系统即可享受高性能。Apogee® 台式匀胶机旋涂仪经过精心设计,可优化宝贵的实验室空间并无缝融入较小的工作空间,使其成为经济实惠且高效的研究和生产解决方案。
为成功而设计
为您打造
Analysis® 旋涂机具有灵活性、可重复性和耐用性,即使是最苛刻的应用也是如此。在一流的客户支持的支持下,我们提供您可以信赖的先进技术,确保您的每一步都取得成功。
内置高级功能
专为卓越的性能、可用性、多功能性和安心而设计。
安全
引领潮流
NRTL 认证对于半导体设备至关重要,可确保符合 OSHA 和 ANSI 等监管机构制定的安全标准。
让最好的变得更好
当高级流程需要高级功能时,Analysis® 可以满足您的需求。从工厂开始个性化您的旋涂机。
Apogee® 200 旋涂机规格 - 台式
最大基板尺寸:200 毫米圆形或 6 英寸 x 6 英寸方形
最大旋转速度:12,000转/分
最大加速度:30,000转/秒
旋转速度可重复性:< 0.2 转/分
加速分辨率:< 0.2 转/秒
旋转速度分辨率:< 0.2 转/分
可编程性
图形用户界面:7 英寸全彩触摸屏(随附)
配方/步骤数:无限/无限
步进时间分辨率:0.1 秒
尺寸重量
宽:13.25 英寸(337 毫米)深:21 英寸(533 毫米)高:14.25 英寸(362 毫米)
运输尺寸
宽:28 英寸(712 毫米)深度:28 英寸(712 毫米)高:29 英寸(737 毫米)
重量:40 磅(18.2 千克)
运输重量(仅限设备):65 磅(29.5 千克)
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