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Apogee 200 匀胶机
Apogee 200 匀胶机

台式匀胶机,可处理最大 200 毫米(8英寸)的晶圆 浏览量:8

产品名称:Apogee 200 匀胶机

型号:Apogee 200

产地:美国

应用:台式匀胶机,可处理最大 200 毫米(8英寸)的晶圆,以高效、节省空间的设计,提供可跟踪的质量稳定性、革命性的接口功能和最大的化学兼容性。

产品详情

您的高级选择

无缝集成

专为在您的工作空间中轻松设置而设计。无需复杂的安装即可获得专业级性能。

紧凑的设计

占地面积小,结果大

无需大型轨道系统即可享受高性能。Apogee® 台式匀胶机旋涂仪经过精心设计,可优化宝贵的实验室空间并无缝融入较小的工作空间,使其成为经济实惠且高效的研究和生产解决方案。

为成功而设计

为您打造

Analysis® 旋涂机具有灵活性、可重复性和耐用性,即使是最苛刻的应用也是如此。在一流的客户支持的支持下,我们提供您可以信赖的先进技术,确保您的每一步都取得成功。

内置高级功能

专为卓越的性能、可用性、多功能性和安心而设计。


安全

引领潮流

NRTL 认证对于半导体设备至关重要,可确保符合 OSHA ANSI 等监管机构制定的安全标准。


让最好的变得更好

当高级流程需要高级功能时,Analysis® 可以满足您的需求。从工厂开始个性化您的旋涂机。


Apogee® 200 旋涂机规格 - 台式

最大基板尺寸:200 毫米圆形或 6 英寸 x 6 英寸方形

最大旋转速度:12,000/

最大加速度:30,000/

旋转速度可重复性:< 0.2 /

加速分辨率:< 0.2 /

旋转速度分辨率:< 0.2 /

可编程性

图形用户界面:7 英寸全彩触摸屏(随附)

配方/步骤数:无限/无限

步进时间分辨率:0.1

尺寸重量

宽:13.25 英寸(337 毫米)深:21 英寸(533 毫米)高:14.25 英寸(362 毫米)

运输尺寸

宽:28 英寸(712 毫米)深度:28 英寸(712 毫米)高:29 英寸(737 毫米)

重量:40 磅(18.2 千克)

运输重量(仅限设备)65 磅(29.5 千克)


更多产品信息,请联系安赛斯工作人员,400 8816 976

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