完美契合，大基材，更大的结果

使用 Apogee® 450 匀胶机推动您的工艺，这是一款规模惊人的强大产品。处理这一切，即使是大、重和形状独特的基材。其时尚的桌面设计具有更大的扭矩、更大的功率和更大的转鼓容量，非常适合您的实验室或晶圆厂。

多功能基材处理

来吧！

适应各种基板配置，从标准晶片到独特的几何形状和专用材料。适应性强的设计处理的基板远远超出了传统的半导体规格，使其成为使用定制尺寸的研究设施和制造商的理想选择。

超薄晶圆？胶片框架？光掩模？自定义形状？没关系

您的高级选择

无缝集成

专为在您的工作空间中轻松设置而设计。无需复杂的安装即可获得专业级性能。

为成功而设计

为您打造

Cee® 旋涂机具有灵活性、可重复性和耐用性，即使是最苛刻的应用也是如此。在一流的客户支持的支持下，我们提供您可以信赖的先进技术，确保您的每一步都取得成功。

内置高级功能

专为卓越的性能、可用性、多功能性和安心而设计。

安全

引领潮流

NRTL 认证对于半导体设备至关重要，可确保符合 OSHA 和 ANSI 等监管机构制定的安全标准。

让最好的变得更好

当高级流程需要高级功能时，Cee® 可以满足您的需求。从工厂开始个性化您的旋涂机。

 

Apogee® 450 旋涂机规格 - 台式

最大基板尺寸：450 毫米圆形或 14 英寸 x 14 英寸方形

最大旋转速度：6,000转/分

最大加速度：30,000转/秒

旋转速度可重复性：0.2转/分

加速分辨率：< 0.2 转/秒

旋转速度分辨率：0.2转/分

可编程性

图形用户界面：7 英寸全彩触摸屏

程序数量：无限

步进时间分辨率：0.1 秒

尺寸

重量：85 磅（38.6 千克）

运输重量（仅限设备）：200 磅（90.7 千克）

尺寸

宽：27.625 英寸（702 毫米）深度：30.75 英寸（710 毫米）高：15.75 英寸（400 毫米）

运输尺寸

宽：34 英寸（864 毫米）深：34 英寸（864 毫米）高：38 英寸（965 毫米）

 

电源电压

电压：208-230伏交流电

排水口：3/4“ 外径

满载电流：6A（最大）

排气口：1.5“ 外径，0.4” H2O @ 30CFM （100Pa @ 50CMH）

真空：1/4“ 按压连接，<20” Hg （33kPa）

N₂/CDA（仅用于自动点胶）：70 磅/平方英寸 （482kPa）

 

更多产品信息，请联系安赛斯工作人员，400 8816 976