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HC120SE可编程匀胶机
HC120SE可编程匀胶机

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匀胶机(旋涂仪)制膜的原理:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高质量薄膜涂层的制备。

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产品详情

产品介绍:


称:小巧型可编程匀胶机

型号:HC120SE

应用: HC120SE小巧型可编程匀胶机,被设计为涂胶处理基片尺寸为?5mm~120mm或对应的方片,使用工业级直流马达和PLC控制,4.3英寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。


产品概述


匀胶机(旋涂仪)制膜的原理:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高质量薄膜涂层的制备。

HC120SE可编程匀胶机,被设计为涂胶处理基片尺寸为?5mm~120mm或对应的方片,使用工业级直流马达和PLC控制,4.3英寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。该型号匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。

  HC120SE小巧型匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。


产品特点:


l  设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;

l  316不锈钢材料旋涂内腔,耐腐蚀;采用分体式结构,易清洁和移动;

l  4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;可精确设置实验参数,运行状态实时显示;

l  采用高级PLC程序控制,旋涂速度、旋涂时间、加速度等工艺参数可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;

l  具有电机进胶保护功能;管路易疏通结构设计;

l  转速、加速度、时间、真空泵关/停、自动吸片、自动释放均可在触屏上操作。

l  可设置用户密码保护功能;

技术参数:


l  适用晶元尺寸范围:? 5~120mm

l  旋涂速度:100~12000rpm;转速分辨率:1rpm

l  旋涂加速度:100-30000rpm/s

l  最大旋涂时间:3000s;旋涂时间精度:0.1s

l  内腔直径200mm,内腔采用独特的凹面防溅设计;

l  具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程10组程序,每组程序10步;

l  电源输入:AC200-230V

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