快速设置

充满信心地运行

快速开始加工晶圆。轻松设置您的 Apogee® 台式烤胶机 - 无需复杂的安装。

优化的占地面积

类似Track的性能

在不影响性能的情况下最大化您的工作空间。Apogee® 烤胶机非常适合，可在研究和生产环境中提供一流的效果。享受您所需的动力和精度，同时节省宝贵的空间。

工程性能

可靠、重复、出色

在每个烤胶过程中享受无与伦比的可重复性和均匀性。Apogee® 烤胶机具有持久的耐用性，并以终身工艺支持为后盾，是您自动化烤胶加工的理想解决方案。

内置高级功能

专为卓越的性能、可用性、多功能性和安心而设计。

让最好的变得更好

当高级流程需要高级功能时，Analysis® 可以满足您的需求。从工厂开始个性化您的烤盘。

Apogee® 200 烤胶机规格 - 台式

最大基板尺寸：200 毫米圆形或 8 英寸 x 8 英寸方形

最小基板尺寸：2 英寸圆形（支持较小尺寸，但功能有限）

最高温度：300°C（400°C可选）

温度分辨率：0.1°C

温度均匀性：±0.3%

可编程性

图形用户界面：7 英寸全彩触摸屏（随附）

智能引脚?高度范围：0-19 毫米

配方/步骤数：无限/无限

智能引脚?分辨率：0.1 毫米

步进时间分辨率：0.1 秒

尺寸

重量：65 磅（29.5 千克）

运输重量（仅限设备）：110 磅（50 千克）

尺寸

宽：13.25 英寸（337 毫米）深：21 英寸（533 毫米）高：17.25 英寸（439 毫米）

运输尺寸

宽：28 英寸（712 毫米）深度：28 英寸（712 毫米）高：29 英寸（737 毫米）

公用事业

电压：100-120 或 208-230 VAC

N₂/CDA：1/4“ 按压连接，35psi （241kPa）

满载电流：13.6A（@100V）;6.3A（@208V）

真空：1/4“ 按压连接，<20” 汞柱 （33kPa abs）

排气口：外径 2 英寸，高 0.4 英寸₂O@10CFM （100Pa@17 CMH）

更多产品信息，请联系安赛斯工作人员，400 8816 976