可扩展的性能

自信地处理大型基材。Apogee® 300 烤盘具有精度、热均匀性和无与伦比的可重复性。它包含高级功能，旨在随着需求的增长支持您的流程。

从晶圆到面板

不留下任何基材

300mm晶圆？大面板？光掩模？没关系！无论基板尺寸如何，都能享受精确的热控制和一致的结果。自信而精确地处理更大的基材。

快速设置

充满信心地运行

快速开始加工晶圆。轻松设置您的 Apogee® 台式烤盘 - 无需复杂的安装。

工程性能

可靠。重复。出色。

在每个烘焙过程中享受无与伦比的可重复性和均匀性。Apogee® 烤盘具有持久的耐用性，并以终身工艺支持为后盾，是您自动化烘焙加工的理想解决方案。

内置高级功能

专为卓越的性能、可用性、多功能性和安心而设计。

让最好的变得更好

当高级流程需要高级功能时，Analysis® 可以满足您的需求。从工厂开始个性化您的烤盘。

Apogee® 300 烤盘规格 - 台式

最大基板尺寸：300 毫米圆形或 12 英寸 x 12 英寸方形

最小基板尺寸：4 英寸圆形（支持较小尺寸，功能有限）

最高温度：300°C（400°C可选）

温度分辨率：0.1°C

温度均匀性：±0.3%

可编程性

图形用户界面：7 英寸全彩触摸屏（随附）

智能引脚?高度范围：0-19 毫米

配方/步骤数：无限/无限

智能引脚?分辨率：0.1 毫米

步进时间分辨率：0.1 秒

尺寸

重量：146 磅（66.2 千克）

运输重量（仅限设备）：220 磅（千克）

尺寸

宽：18.75 英寸（477 毫米）深度：26.25 英寸（667 毫米）高：17.75 英寸（451 毫米）

运输尺寸

宽：34 英寸（毫米）深度：34 英寸（毫米）高：38 英寸（毫米）

电源电压

电压：208-230伏交流电

N₂/CDA：1/4“ 按压连接，35psi （241kPa）

满载电流：16.3安

真空：1/4“ 按压连接，<20” 汞柱 （33kPa abs）

排气口：外径 2 英寸，高 0.4 英寸₂O@10CFM （100Pa@17 CMH）

更多产品信息，请联系安赛斯工作人员，400 8816 976