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HC150PE可编程匀胶机
HC150PE可编程匀胶机

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HC150PE匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。

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产品详情

产品介绍:


名称:可编程匀胶机

型号:HC150PE

应用: HC150PE可编程匀胶机是在HC150SE的基础上,增加一路自动点胶系统,满足小批量实验制样的需求。被设计为涂胶处理基片尺寸为?5mm~150mm6英寸)或对应的方片,使用工业级直流马达和PLC控制,4.3英寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。


产品概述


匀胶机(旋涂仪)制膜的原理:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高质量薄膜涂层的制备。

HC150PE可编程匀胶机,被设计为涂胶处理基片尺寸为?5mm~150mm或对应的方片,使用工业级直流马达和PLC控制,4.3英寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。该型号匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。

  HC150PE匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。


产品特点:


设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;

HDPE高分子材料旋涂内腔,耐腐蚀;采用分体式结构,易清洁和移动;

4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;可精确设置实验参数,运行状态实时显示;

采用高级PLC程序控制,旋涂速度、旋涂时间、加速度等工艺参数可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;

具有电机进胶保护功能;管路易疏通结构设计;

转速、加速度、时间、真空泵关/停、自动吸片、自动释放均可在触屏上操作。

可设置用户密码保护功能;

带真空检测安全互锁,当系统真空度不足时,设备提示错误并停止运行,防止飞片,此功能可在“设置”中关闭;

带一路自动点胶系统;

技术参数:


● 适用晶元尺寸范围:? 5~150mm

● 旋涂速度:100~12000rpm;转速分辨率:1rpm

● 旋涂加速度:100-30000rpm/s

● 最大旋涂时间:3000s;旋涂时间精度:0.1s

● 内腔直径212mm,内腔采用独特的凹面防溅设计;

● 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序10步;

● 电源输入:AC200-230V


自动点胶系统参数:


● 流量范围:0.006-1340毫升/分钟;

● 流量精度误差:<0.5%

● 转速范围:0.1350(转/分钟);

● 转速分辨率:0.1(转/分钟);

● 电源电压:AC 220V±10%,50Hz/60Hz(标配);

● 功 率:小于40W

● 外控接口:外控输入电平5V12V(标配)24V(选配);

● 外控数字通讯接口:RS485通讯,支持MODBUS协议;

● 环境温度:0 40℃ ;

● 相对湿度:<80%

● 防护等级:IP31

● 机箱尺寸:(长×宽×高)255mm×181mm×198mm

● 重 量:4.7KG



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