纵向扩展，超越

Apogee® 450 显影机被设计为处理大尺寸、重型基板的显影和清洗，采用加高防溅罩，现代化的工艺控制。其时尚的桌面设计可无缝集成到任何实验室或制造环境中，帮助您扩展和优化流程。

多面性

大、重、怪？没关系

超薄晶圆、胶片框架、光掩模和定制形状？非常规不一定很复杂。Apogee® 450 离心显影剂是处理定制尺寸的研究实验室和制造商的完美解决方案。轻松处理超出典型半导体标准的尺寸和形状。

易于安装

简化的设置

专为适应任何工作空间而设计。无需复杂的安装即可享受顶级性能，无需通风柜。

为结果而设计

一次又一次

Apogee® 显影机为最具挑战性的应用提供灵活性、可重复性和持久耐用性。依靠尖端技术和顶级流程支持来推动您在每个阶段取得成功。

内置高级功能

专为卓越的性能、可用性、多功能性和安心而设计。

安全

引领潮流

NRTL 认证对于半导体设备至关重要，可确保符合 OSHA 和 ANSI 等监管机构制定的安全标准。

让最好的变得更好

当高级流程需要高级功能时，Analysis® 可以满足您的需求。从工厂开始个性化您的显影机。

Apogee® 450 显影机规格 - 台式

最大基板尺寸：450 毫米圆形或 14 英寸 x 14 英寸方形

最大旋转速度：6,000转/分

最大加速度：30,000转/秒

旋转速度可重复性：0.2转/分

加速分辨率：< 0.2 转/秒

旋转速度分辨率：0.2转/分

可编程性

图形用户界面：7 英寸全彩触摸屏

程序数量：无限

步进时间分辨率：0.1 秒

尺寸

重量：8115 磅（52.2 千克）

运输重量（仅限设备）：220 磅（100 千克）

尺寸

宽：27.625 英寸（702 毫米）深度：30.75 英寸（710 毫米）高：23.5 英寸（597 毫米）

运输尺寸

宽：34 英寸（864 毫米）深：34 英寸（864 毫米）高：38 英寸（965 毫米）

电源电压

电压：208-230伏交流电

排水口：3/4“ 外径

满载电流：6A（最大）

排气口：外径 1.5 英寸，高 0.4 英寸₂O @ 30CFM （100Pa @ 50CMH）

真空：1/4“ 按压连接，<20” Hg （33kPa）

N₂/CDA（仅用于自动点胶）：1/4“ 按压连接，70psi （482kPa）

更多产品信息，请联系安赛斯工作人员，400 8816 976