台式显影机,可处理最大 200 毫米的晶圆显影和清洗 浏览量:39
产品名称:Apogee 200 显影机®
型号:Apogee 200 spin-developer
产地:美国
应用:台式显影机,可处理最大 200 毫米的晶圆,以高效、节省空间的设计,提供可跟踪的质量稳定性、革命性的接口功能和最大的化学兼容性。
易于安装
简化的设置
专为适应任何工作空间而设计。无需复杂的安装即可享受顶级性能,无需通风柜。



紧凑型自动化
显影 ? 冲洗 ? 干燥
升级到可重复的配方驱动工艺,在时尚的台式设计中最大限度地减少浪费。Apogee® Spin Developer 经过优化,可节省宝贵的实验室空间,最大限度地提高生产力和性能。
为结果而设计
一次又一次
Apogee® 显影机为最具挑战性的应用提供灵活性、可重复性和持久耐用性。依靠尖端技术和顶级流程支持来推动您在每个阶段取得成功。
内置高级功能
专为卓越的性能、可用性、多功能性和安心而设计。
安全
引领潮流
NRTL 认证对于半导体设备至关重要,可确保符合 OSHA 和 ANSI 等监管机构制定的安全标准。
让最好的变得更好
当高级流程需要高级功能时,Analysis® 可以满足您的需求。从工厂开始个性化您的显影机。
Apogee® 200 显影机规格 - 台式
最大基板尺寸:200 毫米圆形或 6 英寸 x 6 英寸方形
最大旋转速度:12,000转/分
最大加速度:30,000转/秒
旋转速度可重复性:< 0.2 转/分
加速分辨率:< 0.2 转/秒
旋转速度分辨率:< 0.2 转/分
可编程性
图形用户界面:7 英寸全彩触摸屏(随附)
配方/步骤数:无限/无限
步进时间分辨率:0.1 秒
尺寸
重量:40 磅(18.2 千克)
运输重量(仅限设备):85 磅(38.6 千克)
尺寸
宽:13.25 英寸(337 毫米)深:21 英寸(533 毫米)高:20(508毫米)
运输尺寸
宽:28 英寸(712 毫米)深度:28 英寸(712 毫米)高:29 英寸(737 毫米)
电源电压
电压:100-120 或 208-230 VAC
排水口:3/4“ 外径
满载电流:6A(最大)
排气口:外径 1 英寸,高 0.4 英寸2O@5.8CFM (100Pa@10CMH)
真空:1/4“ 按压连接,<20” Hg (33kPa)
N2/CDA (仅用于自动点胶):1/4“ 按压连接,70psi (482kPa)
更多产品信息,请联系安赛斯工作人员,400 8816 976
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