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Apogee 200 显影机
Apogee 200 显影机

台式显影机,可处理最大 200 毫米的晶圆显影和清洗 浏览量:39

产品名称:Apogee 200 显影机®

型号:Apogee 200 spin-developer

产地:美国

应用:台式显影机,可处理最大 200 毫米的晶圆,以高效、节省空间的设计,提供可跟踪的质量稳定性、革命性的接口功能和最大的化学兼容性。

产品详情

易于安装

简化的设置

专为适应任何工作空间而设计。无需复杂的安装即可享受顶级性能,无需通风柜。



紧凑型自动化

显影 ? 冲洗 ? 干燥

升级到可重复的配方驱动工艺,在时尚的台式设计中最大限度地减少浪费。Apogee® Spin Developer 经过优化,可节省宝贵的实验室空间,最大限度地提高生产力和性能。

为结果而设计

一次又一次

Apogee® 显影机为最具挑战性的应用提供灵活性、可重复性和持久耐用性。依靠尖端技术和顶级流程支持来推动您在每个阶段取得成功。

图片包含 室内, 盘子, 绿色, 小 AI 生成的内容可能不正确。

内置高级功能

专为卓越的性能、可用性、多功能性和安心而设计。

图形用户界面 AI 生成的内容可能不正确。文本 AI 生成的内容可能不正确。手机屏幕的截图 AI 生成的内容可能不正确。图片包含 文本 AI 生成的内容可能不正确。图片包含 图标 AI 生成的内容可能不正确。图示 AI 生成的内容可能不正确。

安全

引领潮流

NRTL 认证对于半导体设备至关重要,可确保符合 OSHA ANSI 等监管机构制定的安全标准。

Cee® Apogee® Spin Coater 的 NRTL 标签的照片。

让最好的变得更好

当高级流程需要高级功能时,Analysis® 可以满足您的需求。从工厂开始个性化您的显影机。

Apogee® 200 显影机规格 - 台式

最大基板尺寸:200 毫米圆形或 6 英寸 x 6 英寸方形

最大旋转速度:12,000/

最大加速度:30,000/

旋转速度可重复性:< 0.2 /

加速分辨率:< 0.2 /

旋转速度分辨率:< 0.2 /

可编程性

图形用户界面:7 英寸全彩触摸屏(随附)

配方/步骤数:无限/无限

步进时间分辨率:0.1

尺寸

重量:40 磅(18.2 千克)

运输重量(仅限设备)85 磅(38.6 千克)

尺寸

宽:13.25 英寸(337 毫米)深:21 英寸(533 毫米)高:20508毫米)

运输尺寸

宽:28 英寸(712 毫米)深度:28 英寸(712 毫米)高:29 英寸(737 毫米)

电源电压

电压:100-120 208-230 VAC

排水口:3/4“ 外径

满载电流:6A(最大)

排气口:外径 1 英寸,高 0.4 英寸2O@5.8CFM 100Pa@10CMH

真空:1/4“ 按压连接,<20” Hg 33kPa

N2/CDA (仅用于自动点胶)1/4“ 按压连接,70psi 482kPa


更多产品信息,请联系安赛斯工作人员,400 8816 976

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