半导体前处理
HC300SE可编程匀胶机,是专业为12英寸及以上晶圆旋涂制膜设计(尺寸向下兼容)。采用高效、节省空间的设计;全彩触屏操作;高级PLC控制;极高的化学兼容性;高精度,高重复性。
HC220PE可编程匀胶机是在HC220SE的基础上,增加一路自动点胶系统,满足小批量实验制样的需求。是专业为8英寸及以下晶圆旋涂制膜设计(尺寸向下兼容)。采用高效、节省空间的设计;全彩触屏操作;高级PLC控制;极高的化学兼容性;高精度,高重复性。
HC220SE可编程匀胶机,是专业为8英寸及以下晶圆旋涂制膜设计(尺寸向下兼容)。采用高效、节省空间的设计;全彩触屏操作;高级PLC控制;极高的化学兼容性;高精度,高重复性。
HC150PE匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。
HC150SE匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。
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