晶圆表面的气泡

问题：

• 点胶液（树脂）中的气泡
• 点胶头切割不均匀或有毛刺或缺陷

彗星、条纹或耀斑

问题：

• 流体速度（分配速率）过高
• 旋转碗排气率过高
• 抗蚀剂在旋转前在晶圆上停留时间过长
• 旋转速度和加速度设置过高
• 颗粒在点胶前存在于基材表面
• 流体未在基材表面中心分配

漩涡图案

问题：

• 旋转碗排气率过高
• 流体撞击基材表面偏离中心
• 旋转速度和加速度设置过高
• 旋转时间太短

中心圆（载物盘标记）

问题：

• 如果圆与旋转卡盘的大小相同，
  请切换到 载物盘

未涂层区域

问题：

• 分配量不足

针孔

问题：

• 气泡
• 流体中的粒子
• 颗粒在点胶前存在于基材表面