匀胶机（旋涂仪）可根据样品的尺寸、形状和材质，选择不同规格的载物盘，有常规的圆形真空吸附载物盘、针对方形样品的嵌入式载物盘，针对大尺寸样品的减重设计载物盘，或带机械卡抓固定的载物盘等。

常规圆形载物盘

• 推荐用于标准厚度的圆形基材和工件。
• 厚度为 150μm 至 6mm。
• Delrin® 结构与多种化学品兼容（或铝合金材质）。
• 可发货的各个尺寸：直径 1/8“、5/16”、1/2“、3/4”、1“、1.5”、2.25“、4” 和 6.188“。
• 可选的定心装置可实现最佳性能和安全作。
• 可根据要求提供定制尺寸和材料。

嵌入式载物盘

• 推荐用于方形和矩形基材
• 常见于显微镜载玻片、光掩模、显示器等。
• 提高角落和边缘的涂层均匀性
• 标准 Delrin® 结构与多种化学品兼容（或铝合金）
• 卡盘根据基材的宽度、长度和厚度定制
• 提供定制配置，例如材料、边缘接触和非真空

大尺寸载物盘

• 推荐用于方形和矩形基材
• 常见于显微镜载玻片、光掩模、显示器等。
• 主要用于显影和清洁
• 基材始终居中且平衡
• 卡盘根据基材的宽度、长度和厚度定制
• 提供定制配置，例如材料、边缘接触和非真空

多孔载物盘

• 常用于薄片、薄膜、箔片等。
• 适用于厚度< 150 μm 的基板
• 多孔陶瓷嵌件用于在真空下均匀地固定基板
• 卡盘根据基材的宽度、长度和厚度定制

胶片框架载物盘

• 机械夹具和多孔陶瓷嵌件相结合，用于旋涂或清洁已粘在胶片框架上的基材。
• 卡盘根据基材的宽度、长度和厚度以及薄膜框架规格定制

定制载物盘

适用于无法保持真空的情况。基板由机械固定片固定到位。

周边真空载物盘

当基板背面无法接触时，使用边缘吸附来保持真空

更多载物盘规格，您可以致电安赛斯工作人员，400 8816 976