旋涂时样品不好对中怎么办？-安賽斯（中国）有限公司

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旋涂时样品不好对中怎么办？

作者：安賽斯（中国）有限公司时间：2025-10-16 浏览量：10

对中装置，也叫定位装置或定心装置，是针对特定尺寸的样品或晶圆，和载物盘定制的一种装置，对中装置与载物盘确保完美贴合。

各种规格的定位装置

200mm定位装置

150mm定位装置

100mm定位装置

50mm定位装置

Centering Device In Use

确保最佳的涂层效果和最安全的作用。
针对特定晶圆和卡盘直径定制;确保完美贴合。

*可根据要求提供定制尺寸

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