您的流程值得升级

完整晶圆加工工作流程的终极解决方案。无缝集成 Apogee® 工艺模块以简化作。从第一天起就提高安全性、享受便利并最大限度地提高生产力。

模块化，以您的方式构建

混合搭配 Apogee® 工艺模块，为涂层、烘烤或显影创建量身定制的高性能工作流程。

交钥匙解决方案，构建、测试、准备就绪

通过完全可定制的解决方案消除从多个供应商采购的复杂性，以简化您的半导体加工。内置烟雾控制、专用化学品储存和符合人体工程学的设计是传统湿式长凳的完美替代品。交付时已完全组装、测试并准备运行;只需插入即可开始工作。

内置高级功能

专为卓越的性能、可用性、多功能性和安心而设计。

安全，引领潮流

NRTL 认证对于半导体设备至关重要，可确保符合 OSHA 和 ANSI 等监管机构制定的安全标准。

让最好的变得更好

当高级流程需要高级功能时，Cee® 可以满足您的需求。从工厂开始个性化您的工作站。

X-Pro II 工作站规格 - 全尺寸

能力，最多四个 200 毫米模块和/或两个 300 毫米模块

重量：750 磅（340 千克）

运输重量（仅限设备）：1000 磅（454 千克）

柜下区域

抽屉： 6.8 ft²（0.637m²），侧隔层：6.8 ft² （0.637m²）

尺寸

宽：70.5 英寸（1800 毫米）深度：45 英寸（1143 毫米）高：80 英寸（2032 毫米）

运输尺寸

宽：75 英寸（1905 毫米）深：48 英寸（1220 毫米）高：96 英寸（2439 毫米）

更多产品信息，请联系安赛斯工作人员，400 8816 976