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匀胶机/旋涂仪

  • HC300SE可编程匀胶机

    HC300SE可编程匀胶机,是专业为12英寸及以上晶圆旋涂制膜设计(尺寸向下兼容)。采用高效、节省空间的设计;全彩触屏操作;高级PLC控制;极高的化学兼容性;高精度,高重复性。

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  • HC220PE可编程匀胶机

    HC220PE可编程匀胶机是在HC220SE的基础上,增加一路自动点胶系统,满足小批量实验制样的需求。是专业为8英寸及以下晶圆旋涂制膜设计(尺寸向下兼容)。采用高效、节省空间的设计;全彩触屏操作;高级PLC控制;极高的化学兼容性;高精度,高重复性。

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  • HC220SE可编程匀胶机

    HC220SE可编程匀胶机,是专业为8英寸及以下晶圆旋涂制膜设计(尺寸向下兼容)。采用高效、节省空间的设计;全彩触屏操作;高级PLC控制;极高的化学兼容性;高精度,高重复性。

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  • HC160PE可编程匀胶机
    HC160PE可编程匀胶机是在HC160SE的基础上,增加一路自动点胶系统,满足小批量实验制样的需求。被设计为涂胶处理基片尺寸为?5mm~160mm6英寸)或对应的方片,使用工业级直流马达和PLC控制,4.3英寸全彩触屏人机界面操作,简单易用

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  • HC160SE可编程匀胶机
    HC160SE匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。

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  • HC150PE可编程匀胶机

    HC150PE匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。

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  • HC150SE可编程匀胶机

    HC150SE匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。

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  • HC120SE可编程匀胶机
    匀胶机(旋涂仪)制膜的原理:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高质量薄膜涂层的制备。

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