IGBT模组多层扫描检测绝缘栅双极晶体管（IGBT）是功率半导体器件的主流形式，是实现电能变换和控制的关键元器件。无损，精准，可靠的对IGBT封装缺陷进行检测，是评价功率半导体质量性能的有效手段。Hiwave超声扫描显微镜，优点在于对功率半导体物理内部参数变化明显的特征如分层、空洞、裂纹等非常敏感，能够清晰的反映界面1~99逐层、分层、各层材料中的裂纹及空洞、芯片倾斜等缺陷，横向分辨率高达0.1 ?m；并且可以对深度进行选择，确定缺陷发生的位置，对于Z方向的缺陷分辨率可以达到纳米级水平，同时可以应用在生产车间，实现大批量快速检测。