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更多新闻2026-04-22
在高校实验室、科研院所的光刻工艺中,光刻胶旋涂后表面布满细小颗粒,是很多科研人常遇到的棘手问题。这些肉眼可见或显微镜下的微小颗粒,不仅会导致胶膜表面不平整,还会影响后续曝光、显影效果,甚至造成图形转移失败,浪费实验材料和时间。今天就拆解颗粒产生的核心原因,教你精准排查、高效解决,让旋涂胶膜更平整。
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